|
Tên nhà sản xuất |
Số lượng |
| Hệ thống chiết nạp NH3 |
TBA (China) |
1 Đài |
| Hệ thống chiết nạp HCL |
TBA (China) |
1 Đài |
| Hệ thống chiết nạp KOH |
TBA (China) |
1 Đài |
| Hệ thống chiết nạp HNO3 |
TBA (China) |
1 Đài |
| Hệ thống chiết nạp HF |
TBA (China) |
1 Đài |
| Hệ thống chiết nạp POCL3 |
TBA (China) |
1 Đài |
| Hệ thống chiết nạp SiH4 |
TBA (China) |
1 Đài |
| Bồn chứa khí Argon lỏng 50m3 |
TBA (China) |
1 Đài |
| Bồn chứa khí Oxy lỏng 1500m3 |
TBA (China) |
1 Đài |
| Bồn chứa khí Nito lỏng 3000m3 |
TBA (China) |
1 Đài |
| Hệ thống xử lý, phân tách khí từ tháp trưng cất Cooling towel (56m) |
TBA (China) |
1 Đài |
