主要設備


  • 種別 その他
    却蒸留塔(56m)からガスを処理および分離するシステム
    メーカー名 TBA
    台数 1 台

設備情報

メーカー名 台数
HF抽出システム TBA 1 台
却蒸留塔(56m)からガスを処理および分離するシステム TBA 1 台
3000m3液体窒素ガスタンク TBA 1 台
1500m3液体酸素ガスタンク TBA 1 台
SiH4抽出システム TBA 1 台
HCL抽出システム TBA 1 台
NH3抽出システム TBA 1 台
KOH抽出システム TBA 1 台
50m3液体アルゴンガスタンク TBA 1 台
POCL3抽出システム TBA 1 台
HNO3抽出システム TBA 1 台