その他の半導体製造装置 に該当した生産財

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その他の半導体製造装置について

半導体製造プロセスの特殊工程・支援工程を担う装置群。CMP・アニール・酸化・拡散・測定・搬送装置により、総合的な半導体製造システムを構築。工程間の品質・効率・歩留りを最適化。

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