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微細穴加工について
微細穴加工は、数十マイクロメートルから数ミリメートル程度の極めて小径な穴を高精度に加工する技術です。高アスペクト比の穴や、熱影響・バリの発生を抑制した加工が求められます。代表的な加工方法には、フェムト秒・ピコ秒レーザー加工、微細放電加工、マイクロドリル加工、電子ビーム加工などがあります。これらの技術は、半導体製造装置のノズル、医療機器のカテーテル、自動車の燃料噴射ノズル、精密金型など、高度な機能と信頼性が要求される部品の製造に不可欠であり、現代の精密機器産業を支える基盤技術となっています。
