小型・軽量・LCD表示「半導体工場向けガス検知部」

技術・サービス

【小型・軽量・LCD表示「半導体工場向けガス検知部」】コスモス式「半導体工場向けガス検知部」は、半導体製造現場での安全性を高め、精密なガス検知を実現するために設計された高性能なガス検知装置です。
■ 概要
このガス検知部、半導体工場におけるガス漏れや有害ガスの検知に特化した装置で、リアルタイムでの高精度なガス検知を可能にします。この製品は、上位システムとの通信にDevice Netプロトコルを採用し、PLC（プログラマブルロジックコントローラー）へ簡単に接続することができます。さらに、特許取得済みのサンプリング流量自動制御機能と目詰まり警報機能を搭載し、常に安定したガス検知を保証します。
■ 特長
高精度ガス検知：半導体工場で使用される多種多様なガスを正確に検知し、作業環境の安全性を向上。
・Device Net対応：上位システムとの接続が容易で、迅速な情報伝達が可能。
・自動制御機能：サンプリング流量を自動で制御し、安定した検知性能を維持。
・目詰まり警報機能：検知部の目詰まりを自動的に検出し、警報を発信。
■ 仕様
・通信プロトコル：Device Net
・警報機能：目詰まり警報機能（特許登録済み）
・対応ガス：半導体製造に使用される各種ガス
・設置場所：半導体工場内、ガス供給ラインや排気ライン
「コスモス式ガス検知部」は、半導体製造現場の安全性を確保するための最適なソリューションです。リアルタイムのガス検知と自動制御機能により、作業環境のリスクを最小限に抑えます。
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■定置式ガス検知警報装置総合カタログは「詳細はこちら」よりご覧下さい。